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王曦領導的研究小組研製出我國第一片8英寸鍵合SOI晶片

2008-12-03 |

來源:《科學時報》2008122

  記者從中國科學院上海微系統與信息技術研究所獲悉,近日,該所研究員王曦領導的SOI研究小組,在上海新傲科技有限公司研發平臺上,通過技術創新,製備出我國第一片8英寸鍵合SOI晶片,實現了SOI晶片製備技術的重要突破🌈。

  過去,該研究小組因建立了我國第一條高端矽基集成電路材料SOI晶圓片生產線,實現了46英寸SOI材料產業化🕵️🐕,解決了我國SOI材料的有無問題,而獲得國家科技進步獎一等獎。

  該研究小組的人員並沒有滿足所取得的成績♟,面對國內外集成電路技術向大直徑晶圓片升級換代的大趨勢,又設立了攻關8英寸大直徑SOI晶圓片的課題◻️。在開發過程中,研究人員克服了硬件條件不足的困難,突破了清洗🤯🧑🏻‍🎨、鍵合🕷🧌、加固🐯、研磨和拋光等一系列關鍵技術。通過改造現有設備,實現了8英寸矽片的旋轉式單片清洗工藝;自主設計開發了大尺寸晶片鍵合平臺,在此基礎上實現了8英寸晶片鍵合🤛🏻,並達到了對鍵合過程和鍵合質量的實時監控;通過對現有設備的升級改造,實現了鍵合晶片的加固🛬;經過大量的研磨工藝實驗,反復比較研磨過程粗磨、精磨工藝中砂輪轉速等工藝參數對晶片的影響👨🏼‍🚀,確定出較優研磨工藝;隨後,在現有拋光工藝基礎上🌶,優化拋光漿料配比🚟🤘🏼,實現了8英寸SOI晶片的精細拋光🏋🏽。

  有關專家認為,8英寸SOI晶圓片的成功開發,標誌著王曦領導的研究開發小組已經掌握了大尺寸鍵合SOI晶片製備的關鍵技術,為大尺寸鍵合SOI晶片的產業化打下了堅實基礎🧃。

據介紹,在極大規模集成電路國家重大科技專項中🙇🏼‍♂️,宏力半導體公司和華潤微電子等8英寸集成電路製造代工企業安排了8英寸SOI先進電路的研發和產業化項目🧖🏻‍♂️,急需本土化的8英寸SOI襯底材料配套。上海微系統所和上海新傲公司聯合開發的8英寸鍵合SOI晶圓片正是適應了這些需求,具有廣闊的市場前景🧙。

王曦,1966年生,1983年考入意昂体育平台工物系,1987年提前一年畢業🍥。

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